壓力傳感器的類型多,目前比較常用的有壓阻式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器兩種。
1.壓阻式壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器的工作原理是當壓敏電阻受壓后產生電阻變化,通過放大器放大并采用標準壓力標定,即可進行壓力檢測。壓阻式壓力傳感器的性能主要取決于壓敏元件(即壓敏電阻)、放大電路,以及生產中的標定和老化工藝。
壓阻式傳感器是用集成電路工藝技術,在硅片上制造出四個等值的薄膜電阻,并組成電橋電路。當不受力作用時,電橋處于平衡狀態,無電壓輸出;當受到力作用時,電橋失去平衡,輸出與應力成正比的電壓。壓阻式傳感器的工作原理與傳統的半導體應變式傳感器的工作原理一樣,都是基于半導體材料的壓阻效應。
2.壓電式壓力傳感器
壓電式壓力傳感器原理基于壓電效應。壓電效應是某些電介質在沿一定方向上受到外力的作用而變形時,其內部會產生極化現象,同時在它的兩個相對表面上出現正負相反的電荷。當外力去掉后,它又會恢復到不帶電的狀態,這種現象稱為正壓電效應。
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